临界调製传输函式（CMTF,CriticalModulationTransferFunction）。主要表征光刻胶本身曝光对比度的参数。即光刻胶分辨透射光线明暗的能力。一般来说光路系统的调製传输函式必须大于光刻胶的临界调製传输函式，即MTF>CMTF。