超声相控阵技术已有近20多年的发展历史。初期主要套用于医疗领域,医学超声成像中用相控阵换能器快速移动声束对被检器官成像;大功率超声利用其可控聚焦特性局部升温热疗治癌,使目标组织升温并减少非目标组织的功率吸收。最初,系统的複杂性、固体中波动传播的複杂性及成本费用高等原因使其在工业无损检测中的套用受限。然而随着电子技术和计算机技术的快速发展,超声相控阵技术逐渐套用于工业无损检测,特别是在核工业及航空工业等领域。如核电站主泵隔热板的检测;核废料罐电子束环焊缝的全自动检测及薄铝板摩擦焊缝热疲劳裂纹的检测。由于数字电子和DSP技术的发展，使得精确延时越来越方便，因此近几年,超声相控阵技术发展的尤为迅速。

1.1 动作原理

超声相控阵是超声探头晶片的组合，由多个压电晶片按一定的规律分布排列，然后逐次按预先规定的延迟时间激发各个晶片，所有晶片发射的超音波形成一个整体波阵面，能有效地控制发射超声束（波阵面）的形状和方向，能实现超音波的波束扫描、偏转和聚焦。它为确定不连续性的形状、大小和方向提供出比单个或多个探头系统更大的能力。

超声相控阵检测技术使用不同形状的多阵元换能器产生和接收超音波束，通过控制换能器阵列中各阵元发射(或接收)脉冲的不同延迟时间，改变声波到达(或来自)物体内某点时的相位关係，实现焦点和声束方向的变化，从而实现超音波的波束扫描、偏转和聚焦。然后採用机械扫描和电子扫描相结合的方法来实现图像成像。

通常使用的是一维线形阵列探头，压电晶片呈直线状排列，聚焦声场为片状，能够得到缺陷的二维图像，在工业中得到广泛的套用。

阵列顾名思义就是晶片在探头中排列的几何形状。相控阵探头有3 种主要阵列类型：线形（线阵列）、面形（二维矩形阵列）和环形（圆形阵列），如图3 所示。相控阵探头大多数採用线形阵列，因为线形阵列编程容易，费用明显低于其他阵列。

用相控阵探头对焊缝进行检测时，无需像普通单探头那样在焊缝两侧频繁地来回前后左右移动，而相控阵探头沿着焊缝长度方向平行于焊缝进行直线扫查，对焊接接头进行全体积检测。该扫查方式可藉助于装有阵列探头的机械扫查器沿着精确定位的轨道滑动完成，也採用手动方式完成，可实现快速检测，检测效率非常高。

不同厂家超声相控阵设备的功能、操作及显示方式等各不相同，但是检测套用基本相同。本文现以以色列Sonotron NDT 公司生产的相控阵设备（即ISONIC-UPA） 套用为例来分析介绍。ISONIC-UPA 设备有其独特的技术特点和优势，不同于其他厂家的相控阵设备，体现了超前的理念。

1 角度补偿

传统工业相控阵定量方法不具有角度、声程、晶片增益修正技术，多晶片探头通过楔块入射到工件内部时存在入射点漂移现象和能量分布变化。採用单一入射点校準方式与常规距离-波幅曲线修正，造成的扇形扫查区域中能量分布不均匀及测量误差等问题未能有效解决，如图7 所示。而ISONIC-UPA 相控阵设备具有角度补偿功能，能有效地解决此类问题。

所谓角度补偿就是针对不同的聚焦法则，输入扇形扫查所需的角度範围及入射角度的增量后，晶片可以分别进行角度增益调整，也就是晶片角度增益修正。

有了角度增益补偿设定功能，可以取代传统的通过设定DAC曲线的方法来补偿增益变化。在ASME Case2557 标準中明确指出进行扇形扫描时要进行角度增益补偿。角度增益补偿曲线如图8所示，经过角度补偿后得到的等量化数据。

2 二次波显示

传统相控阵扇形扫查採用单纯的声程显示，不能显示缺陷的真实位置。这种成像模式将处在二次波位置上的缺陷转换成一次波位置进行成像显示，给分辨缺陷的具体位置增加难度，不能直观给出缺陷真实位置。对于检测角焊缝、T 形焊缝、K形焊缝及Y 形焊缝无法显示真实成像结果，使该成像模式的套用受到限制，仅能用于检测对接接头。

而ISONIC-UPA 採用二次波检测成像显示模式，成像结果与真实几何结构一致。这种成像模式能直观显示缺陷的位置及被检工件焊缝的真实结构，这是声程显示成像模式无法比拟的。