MEMS陀螺仪并不像其他陀螺仪一样基于转子的旋转来採集数据，毕竟想在一个大小以微米来计算的物体上製造出可以旋转的转子是非常不现实的，所以研究人员决定通过科里奥利效应的原理——旋转物体在有径向运动时所受到的切向力来製造MEMS陀螺仪。

绝大多数微机械陀螺仪依赖于由相互正交的振动和转动引起的交变科里奥利力。振动物体被柔软的弹性结构悬挂在基底之上。整体动力学系统是二维弹性阻尼系统，在这个系统中振动和转动诱导的科里奥利力把正比于角速度的能量转移到感测模式。通过改进设计和静电调试使得驱动和感测的共振频率一致，以实现最大可能的能量转移，从而获得最大灵敏度。