TMS,四甲基硅烷;四甲基甲硅烷; tetramethylsilane

无色易挥发液体, 易溶于有机溶剂。熔点-99℃。沸点26～28℃。闪点<0℃。折射率1.3580。密度0.648g/cm3。化学稳定，不被浓硫酸或强硷分解。在紫外线照射下，可氯化成氯甲基三甲基硅烷。四甲基硅烷具有很高的热稳定性，660～720℃下才开始分解。

可由四氯硅烷或正硅酸乙酯与甲基碘化镁反应来製取。也可由氯甲烷和硅粉，在铜催化剂存在下反应而製取。在高温下反应然后精分馏製得。

由于硅的电负性较低，对四个甲基上的氢原子影响较小，所以在核磁共振谱中能给出较强的信号和一个锐利的吸收峰，而其他一般有机化合物中的质子吸收峰都出现在它的左面。因此，在核磁共振谱中通常把TMS作为化学位移的内标，并把它的化学位移定为零

四甲基硅烷在核磁共振波谱的¹H、¹³C和²⁹Si谱中起到标定化学位移零点的作用。因为四甲基硅烷的12个氢是相同的，4个碳也是均等的，这样四甲基硅烷在H谱中和完全去耦的C谱中均呈现一个单峰，而目前几乎所有可用H谱和C谱研究的化合物的化学位移都在四甲基硅烷峰的低场处（即化学位移更大处），不会产生互相干扰。

通常置于密封玻璃管内并贮存于冰柜中。